晶圆加热盘以及热模组批量化

完成6寸、8寸、12寸晶圆加热盘以及热模组批量化交付，拥有全新的SDP开发工艺技术，能够根据用户端的实际需求提供（不锈钢）工艺、真空钎焊工艺、重力压铸（铝合金）工艺等全套解决方案，完成进口替代。