晶圆矩阵加热盘系列

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热盘
该系列加热盘采用量动创新的晶圆矩阵布局设计，能够实现对多个晶圆的同时均温加热，确保各种温控要求。
冷热复合盘
该系列加热盘采用量动创新的晶圆矩阵布局设计，能够实现对多个晶圆的同时均温加热，确保各种温控要求。
键合工艺盘
该系列加热盘采用量动创新的晶圆矩阵布局设计，能够实现对多个晶圆的同时均温加热，确保各种温控要求。
不锈钢
该系列加热盘采用量动创新的晶圆矩阵布局设计，能够实现对多个晶圆的同时均温加热，确保各种温控要求。
铝合金材质平板
该系列加热盘采用量动创新的晶圆矩阵布局设计，能够实现对多个晶圆的同时均温加热，确保各种温控要求。
异型加热平板
该系列加热盘采用量动创新的晶圆矩阵布局设计，能够实现对多个晶圆的同时均温加热，确保各种温控要求。