热盘

UTX晶圆矩阵加热盘系列是一种专为半导体行业及精密制造领域设计的高效电加热设备，特别用于晶圆加工、热处理、涂布和退火等工艺。该系列加热盘采用创新的晶圆矩阵布局设计，能够实现对多个晶圆的同时均匀加热，确保高效、精确的温控，满足半导体生产过程中对温度稳定性和均匀性的严格要求。
UTX晶圆矩阵加热盘系列凭借其创新的矩阵布局设计、精确的温控系统以及高效的加热与节能性能，成为半导体制造、光伏材料加工、电子器件生产等高精度行业中不可或缺的设备。通过提供均匀稳定的加热环境，该系列设备确保了产品的一致性和高质量，同时提升了生产效率和节能效果，是先进制造工艺中必备的高性能加热方案。